1.. Particule de praf îndepărtarea în camera curată fără praf
Principala funcție a camerei curate este de a controla curățenia, temperatura și umiditatea atmosferei la care produsele (cum ar fi chipsurile de siliciu etc.) sunt expuse, astfel încât produsele să poată fi produse și fabricate într -un spațiu bun de mediu. Numim acest spațiu ca o cameră curată. Conform practicii internaționale, nivelul de curățenie este determinat în principal de numărul de particule pe metru cub de aer cu un diametru mai mare decât standardul de clasificare. Cu alte cuvinte, așa-numitul fără praf nu este 100% fără praf, ci controlat într-o unitate foarte mică. Desigur, particulele care îndeplinesc standardul de praf în acest standard sunt deja foarte mici în comparație cu praful comun pe care îl vedem, dar pentru structurile optice, chiar și un pic de praf va avea un impact negativ foarte mare, deci fără praf este o cerință inevitabilă În producția de produse cu structură optică.
Controlul numărului de particule de praf cu o dimensiune a particulelor mai mare sau egală cu 0,5 microni pe metru cub la mai puțin de 3520/contor cub va ajunge la clasa A a standardului internațional fără praf. Standardul fără praf utilizat în producția și prelucrarea la nivel de cip are cerințe mai mari pentru praf decât clasa A, iar un standard atât de ridicat este utilizat în principal la producția unor cipuri de nivel superior. Numărul de particule de praf este strict controlat la 35.200 pe metru cub, care este cunoscut în mod obișnuit ca clasa B în industria camerelor curate.
2. Trei tipuri de state curate din cameră
Cameră curată goală: o instalație de cameră curată care a fost construită și poate fi folosită. Are toate serviciile și funcțiile relevante. Cu toate acestea, nu există echipamente operate de operatori în instalație.
Cameră curată statică: o instalație de cameră curată, cu funcții complete, setări și instalare corespunzătoare, care pot fi utilizate în funcție de setări sau este utilizat, dar nu există operatori în instalație.
Cameră curată dinamică: o cameră curată în uz normal, cu funcții de serviciu complete, echipamente și personal; Dacă este necesar, se poate efectua o muncă normală.
3. Elemente de control
(1). Poate îndepărta particulele de praf plutind în aer.
(2). Poate preveni generarea de particule de praf.
(3). Controlul temperaturii și umidității.
(4). Reglarea presiunii.
(5). Eliminarea gazelor dăunătoare.
(6). Etanșeitatea aerului structurilor și compartimentelor.
(7). Prevenirea energiei electrice statice.
(8). Prevenirea interferenței electromagnetice.
(9). Luarea în considerare a factorilor de siguranță.
(10). Considerarea economiei de energie.
4. Clasificare
Tip de flux turbulent
Aerul intră în camera curată din cutia de aer condiționat prin conducta de aer și filtrul de aer (HEPA) în camera curată și este returnat din panourile de perete partiție sau podele ridicate pe ambele părți ale camerei curate. Fluxul de aer nu se mișcă într -o manieră liniară, dar prezintă un stat turbulent neregulat sau eddy. Acest tip este potrivit pentru camera curată din clasa 1.000-100.000.
Definiție: o cameră curată în care fluxul de aer curge cu o viteză neuniformă și nu este paralel, însoțit de fluxul de întoarcere sau curentul eddy.
Principiu: Camerele curate turbulente se bazează pe fluxul de aer de alimentare cu aer pentru a dilua continuu aerul interior și pentru a dilua treptat aerul poluat pentru a obține curățenia (camerele curate turbulente sunt proiectate în general la niveluri de curățenie peste 1.000 până la 300.000).
Caracteristici: Camerele curate turbulente se bazează pe mai multe ventilații pentru a atinge nivelul de curățenie și curățenie. Numărul de modificări de ventilație determină nivelul de purificare în definiție (cu cât este mai mare modificări de ventilație, cu atât este mai mare nivelul de curățenie)
(1) Timpul de auto-purificare: se referă la momentul în care camera curată începe să furnizeze aer în camera curată în funcție de numărul de ventilație proiectat, iar concentrația de praf din cameră ajunge la nivelul de curățenie proiectat, clasa 1.000 nu mai este de așteptat să fie decât 20 de minute (15 minute pot fi utilizate pentru calcul) Clasa 10.000 este de așteptat să nu fie mai mult de 30 de minute (25 minute pot fi utilizate pentru calcul) Clasa 100.000 este de așteptat să nu fie mai mult de 40 de minute (30 minute pot fi utilizate pentru calcul)
(2) Frecvența de ventilație (proiectată în conformitate cu cerințele de timp de auto-curățare de mai sus) Clasa 1.000: 43.5-55.3 ori/oră (standard: 50 de ori/oră) Clasa 10.000: 23.8-28.6 ori/oră (standard: 25 de ori/oră ) Clasa 100.000: 14.4-19.2 ori/oră (standard: 15 ori/oră)
Avantaje: Structura simplă, costurile de construcție scăzute de sistem, camera curată ușor de extins, în unele locuri cu scop special, banca curată fără praf poate fi utilizată pentru a îmbunătăți nota camerei curate.
Dezavantaje: particulele de praf cauzate de turbulența plutesc în spațiul interior și sunt dificil de evacuat, ceea ce poate contamina cu ușurință produsele procesului. În plus, dacă sistemul este oprit și apoi activat, de multe ori este nevoie de mult timp pentru a obține curățenia necesară.
Flux laminar
Aerul de flux laminar se deplasează într -o linie dreaptă uniformă. Aerul intră în cameră printr -un filtru cu o rată de acoperire de 100% și este returnat prin podeaua ridicată sau plăcile de partiție de pe ambele părți. Acest tip este potrivit pentru utilizare în medii cu curat camere, cu grade mai mari de cameră curată, în general clasa 1 ~ 100. Există două tipuri:
(1) Fluxul laminar orizontal: aerul orizontal este aruncat din filtru într -o singură direcție și returnat de sistemul de aer de întoarcere de pe peretele opus. Praful este descărcat în aer liber cu direcția aerului. În general, poluarea este mai gravă pe partea din aval.
Avantaje: Structura simplă, poate deveni stabilă într -un timp scurt după operație.
Dezavantaje: Costul construcției este mai mare decât fluxul turbulent, iar spațiul interior nu este ușor de extins.
(2) Fluxul laminar vertical: plafonul camerei este complet acoperit cu filtre ulpa, iar aerul este suflat de sus în jos, ceea ce poate obține o curățenie mai mare. Praful generat în timpul procesului sau de către personal poate fi descărcat rapid în aer liber, fără a afecta alte zone de lucru.
Avantaje: Starea ușor de gestionat, stabilă poate fi obținută într -un timp scurt după începerea operației și nu este ușor afectată de starea de operare sau de operatori.
Dezavantaje: costuri mari de construcție, dificil de utilizat în mod flexibil spațiul, umerașele de tavan ocupă mult spațiu și supărătoare pentru repararea și înlocuirea filtrelor.
Tip compus
Tipul compus este de a combina sau utiliza tipul de flux turbulent și tipul de flux laminar împreună, ceea ce poate oferi aer ultra-curat local.
(1) Tunel curat: Utilizați filtrele HEPA sau ULPA pentru a acoperi 100% din suprafața procesului sau zona de lucru pentru a crește nivelul de curățenie până la clasa 10 de peste 10, ceea ce poate economisi costurile de instalare și operare.
Acest tip necesită ca zona de lucru a operatorului să fie izolată de la întreținerea produsului și a mașinii pentru a evita afectarea muncii și a calității în timpul întreținerii mașinii.
Tunelurile curate au alte două avantaje: A. ușor de extins flexibil; B. Întreținerea echipamentelor poate fi efectuată cu ușurință în zona de întreținere.
(2) Tub curat: înconjoară și purificați linia de producție automată prin care trece fluxul de produs și creșteți nivelul de curățenie până la clasa 100. Deoarece produsul, operatorul și mediul generator de praf sunt izolați unul de celălalt, o cantitate mică de Alimentarea cu aer poate obține o curățenie bună, care poate economisi energie și este cea mai potrivită pentru liniile de producție automate care nu necesită forță de muncă manuală. Se aplică industriilor farmaceutice, alimentare și semiconductoare.
) Curățarea bancilor de lucru curate, magazinele curate, camerele curate prefabricate și dulapurile curate aparțin acestei categorii.
Banca curată: clasa 1 ~ 100.
Cabină curată: un spațiu mic înconjurat de o cârpă de plastic transparentă anti-statică în spațiu turbulent curat, folosind unități independente de hepa sau ulpa și aer condiționat pentru a deveni un spațiu curat la nivel superior, cu un nivel de 10 ~ 1000, o înălțime de aproximativ 2,5 metri și o suprafață de acoperire de aproximativ 10m2 sau mai puțin. Are patru piloni și este echipat cu roți mobile pentru utilizare flexibilă.
5. Fluxul fluxului de aer
Importanța fluxului de aer
Curățenia unei camere curate este adesea afectată de fluxul de aer. Cu alte cuvinte, mișcarea și difuzarea prafului generată de oameni, compartimentele mașinii, structurile de construcții etc. sunt controlate de fluxul de aer.
Camera curată folosește HEPA și ULPA pentru a filtra aerul, iar rata de colectare a prafului este de până la 99,97 ~ 99,99995%, astfel încât aerul filtrat de acest filtru se poate spune că este foarte curat. Cu toate acestea, pe lângă oameni, există și surse de praf, cum ar fi mașini în camera curată. Odată ce aceste praf generate se răspândesc, este imposibil să se mențină un spațiu curat, astfel încât fluxul de aer trebuie utilizat pentru a descărca rapid praful generat în aer liber.
Factorii influențați
Există mulți factori care afectează fluxul de aer al unei camere curate, cum ar fi echipamentele de proces, personalul, materialele de asamblare a camerei curate, corpurile de iluminat, etc. În același timp, ar trebui să fie preluat și punctul de diversiune al fluxului de aer deasupra echipamentului de producție considerare.
Punctul de diversiune a fluxului de aer pe suprafața unei mese generale de operare sau a echipamentelor de producție ar trebui să fie stabilit la 2/3 din distanța dintre spațiul camerei curate și placa de partiție. În acest fel, atunci când operatorul lucrează, fluxul de aer poate curge din interiorul zonei procesului până la zona de operare și poate îndepărta praful; Dacă punctul de diversiune este configurat în fața zonei procesului, acesta va deveni o deviere necorespunzătoare a fluxului de aer. În acest moment, cea mai mare parte a fluxului de aer va curge în spatele zonei procesului, iar praful cauzat de funcționarea operatorului va fi transportat în spatele echipamentului, iar banca de lucru va fi contaminată, iar randamentul va scădea inevitabil.
Obstacole, cum ar fi mesele de lucru în camerele curate, vor avea curenți eddy la intersecție, iar curățenia de lângă ele va fi relativ slabă. Forajarea unei gauri de aer de întoarcere pe masa de lucru va reduce la minimum fenomenul curentului eddy; Dacă selecția materialelor de asamblare este adecvată și dacă aspectul echipamentului este perfect este, de asemenea, factori importanți pentru dacă fluxul de aer devine un fenomen curent.
6. Compoziția camerei curate
Compoziția camerei curate este compusă din următoarele sisteme (dintre care niciuna nu este indispensabilă în moleculele de sistem), altfel nu va fi posibilă formarea unei camere curate complete și de înaltă calitate:
(1) Sistem de tavan: inclusiv tija de tavan, fascicul I sau fascicul U, grilă de tavan sau cadru de tavan.
(2) Sistem de aer condiționat: inclusiv cabină de aer, sistem de filtrare, moară de vânt etc.
(3) Perete partițional: inclusiv ferestre și uși.
(4) podea: inclusiv podea ridicată sau podea anti-statică.
(5) Corpuri de iluminat: LED -uri lampă plată.
Structura principală a camerei curate este, în general, din bare de oțel sau ciment osos, dar indiferent de felul de structură, trebuie să îndeplinească următoarele condiții:
A. Nu se vor produce fisuri din cauza modificărilor și vibrațiilor de temperatură;
B. Nu este ușor să produceți particule de praf și este dificil de atașat particule;
C. higroscopicitate scăzută;
D. Pentru a menține condițiile de umiditate în camera curată, izolația termică trebuie să fie ridicată;
7. Clasificare prin utilizare
Cameră curată industrială
Controlul particulelor neînsuflețite este obiectul. Acesta controlează în principal poluarea particulelor de praf de aer la obiectul de lucru, iar interiorul menține, în general, o stare de presiune pozitivă. Este potrivit pentru industria mașinilor de precizie, industria electronică (semiconductori, circuite integrate, etc.), industria aerospațială, industria chimică de înaltă puritate, industria energetică atomică, industria de produse optice și magnetice (CD, film, producție de bandă) LCD (Cristal lichid sticlă), hard disk pentru computer, producție de cap de calculator și alte industrii.
Cameră curată biologică
În principal, controlează poluarea particulelor vii (bacteriilor) și a particulelor neînsuflețite (praf) la obiectul de lucru. Poate fi împărțit în;
A. Cameră generală de curat biologic: controlează în principal poluarea obiectelor microbiene (bacteriene). În același timp, materialele sale interne trebuie să poată rezista la eroziunea diverșilor agenți de sterilizare, iar interiorul garantează, în general, presiunea pozitivă. În esență, materialele interne trebuie să poată rezista la diverse tratamente de sterilizare ale camerei curate industriale. Exemple: industrie farmaceutică, spitale (săli de operare, secții sterile), alimente, produse cosmetice, producția de produse pentru băuturi, laboratoare de animale, laboratoare de testare fizică și chimică, stații de sânge etc.
B. Cameră curată de siguranță biologică: controlează în principal poluarea particulelor vii din obiectul de lucru pentru lumea exterioară și oamenii. Presiunea internă trebuie menținută negativă cu atmosfera. Exemple: bacteriologie, biologie, laboratoare curate, inginerie fizică (gene recombinante, preparare a vaccinului)
Timpul post: februarie-07-2025