Instalațiile de protecție împotriva incendiilor reprezintă o parte importantă a camerei curate. Importanța sa nu este doar pentru că echipamentele sale de proces și proiectele de construcție sunt costisitoare, ci și pentru că camerele curate sunt clădiri relativ închise, iar unele sunt chiar ateliere fără ferestre. Pasajele camerei curate sunt înguste și întortocheate, ceea ce face dificilă evacuarea personalului și predarea focului. Pentru a asigura siguranța vieții și a proprietății oamenilor, politica de protecție împotriva incendiilor „prevenirea în primul rând, combinând prevenirea și incendiul” ar trebui implementată în proiectare. Pe lângă luarea măsurilor eficiente de prevenire a incendiilor în proiectarea camerei curate, În plus, sunt înființate și instalațiile necesare de stingere a incendiilor. Caracteristicile de producție ale camerelor curate sunt:
(1) Există multe echipamente și instrumente de precizie și sunt utilizate o varietate de gaze și lichide inflamabile, explozive, corozive și toxice. Pericolul de incendiu al unor piese de producție aparține categoriei C (cum ar fi difuzia prin oxidare, fotolitografia, implantarea ionică, imprimarea și ambalarea, etc.), iar unele aparțin categoriei A (cum ar fi tragerea de un singur cristal, epitaxia, depunerea chimică în vapori etc. .).
(2) Camera curată este foarte etanșă. Odată ce izbucnește un incendiu, va fi dificil să evacuați personalul și să stingeți incendiul.
(3) Costul construcției camerei curate este mare, iar echipamentele și instrumentele sunt scumpe. Odată ce izbucnește un incendiu, pierderile economice vor fi uriașe.
Pe baza caracteristicilor de mai sus, camerele curate au cerințe foarte ridicate pentru protecția împotriva incendiilor. Pe lângă sistemul de protecție împotriva incendiilor și de alimentare cu apă, ar trebui instalate și dispozitive fixe de stingere a incendiilor, în special echipamentele și instrumentele valoroase din camera curată trebuie determinate cu atenție.
Ora postării: Apr-11-2024