Facilitățile de protecție împotriva incendiilor sunt o parte importantă a camerei curate. Importanța sa nu este doar pentru că echipamentele sale de proces și proiectele de construcție sunt costisitoare, ci și pentru că camerele curate sunt clădiri relativ închise, iar unele sunt chiar ateliere fără ferestre. Pasajele curate ale camerei sunt înguste și chinuitoare, ceea ce face dificilă evacuarea personalului și predă focul. Pentru a asigura siguranța vieții și proprietăților oamenilor, în primul rând, politica de protecție împotriva incendiilor de „prevenire, combinarea prevenirii și incendiului” ar trebui să fie implementată în proiectare. Pe lângă luarea de măsuri eficiente de prevenire a incendiilor în proiectarea camerei curate, în plus, sunt înființate și facilitățile necesare de combatere a incendiilor. Caracteristicile de producție ale camerelor curate sunt:
(1) Există multe echipamente și instrumente de precizie și sunt utilizate o varietate de gaze și lichide inflamabile, explozive, corozive și toxice. Pericolul de incendiu al unor piese de producție aparține categoriei C (cum ar fi difuzarea oxidării, fotolitografia, implantarea ionică, imprimarea și ambalajele, etc.), iar unele aparțin categoriei A (cum ar fi tracțiunea cu un singur cristal, epitaxie, depunerea de vapori chimici, etc. .).
(2) Camera curată este extrem de etanșă. Odată ce un incendiu se va stinge, va fi dificil să evacuați personalul și să stingeți focul.
(3) Costul de construcție al camerei curate este ridicat, iar echipamentele și instrumentele sunt costisitoare. Odată ce un incendiu se va stinge, pierderile economice vor fi uriașe.
Pe baza caracteristicilor de mai sus, camerele curate au cerințe foarte mari pentru protecția împotriva incendiilor. În plus față de sistemul de protecție împotriva incendiilor și alimentarea cu apă, trebuie instalate și dispozitive fixe de stingere a incendiilor, în special echipamente și instrumente valoroase în camera curată trebuie determinate cu atenție.
Timpul post: aprilie-12024