Instalațiile de protecție împotriva incendiilor sunt o parte importantă a camerei curate. Importanța lor nu constă doar în faptul că echipamentele de proces și proiectele de construcție sunt costisitoare, ci și în faptul că camerele curate sunt clădiri relativ închise, iar unele sunt chiar ateliere fără ferestre. Coridoarele camerei curate sunt înguste și întortocheate, ceea ce face dificilă evacuarea personalului și instruirea în caz de incendiu. Pentru a asigura siguranța vieții și a bunurilor oamenilor, politica de protecție împotriva incendiilor „prevenirea pe primul loc, combinând prevenirea și incendiul” ar trebui implementată în proiectare. Pe lângă luarea unor măsuri eficiente de prevenire a incendiilor în proiectarea camerei curate, sunt instalate și instalațiile necesare de stingere a incendiilor. Caracteristicile de producție ale camerelor curate sunt:
(1) Există numeroase echipamente și instrumente de precizie și se utilizează o varietate de gaze și lichide inflamabile, explozive, corozive și toxice. Riscul de incendiu al unor piese de producție aparține categoriei C (cum ar fi difuzia oxidării, fotolitografia, implantarea ionilor, imprimarea și ambalarea etc.), iar altele aparțin categoriei A (cum ar fi extracția monocristalului, epitaxia, depunerea chimică de vapori etc.).
(2) Camera curată este foarte etanșă. Odată ce izbucnește un incendiu, va fi dificil să se evacueze personalul și să se stingă incendiul.
(3) Costul de construcție al unei camere sterile este ridicat, iar echipamentele și instrumentele sunt scumpe. Odată ce izbucnește un incendiu, pierderile economice vor fi uriașe.
Pe baza caracteristicilor de mai sus, camerele curate au cerințe foarte ridicate privind protecția împotriva incendiilor. Pe lângă sistemul de protecție împotriva incendiilor și sistemul de alimentare cu apă, ar trebui instalate și dispozitive fixe de stingere a incendiilor, în special echipamentele și instrumentele valoroase din camera curată trebuie determinate cu atenție.
Data publicării: 11 aprilie 2024