Rata de randament a cipurilor în industria de fabricație IC este strâns legată de dimensiunea și numărul de particule de aer depuse pe cip. O organizație bună a fluxului de aer poate îndepărta particulele generate de sursa de praf departe de camera curată pentru a asigura curățenia camerei curate, adică organizația de flux de aer în camera curată joacă un rol vital în rata de producție a producției de IC. Proiectarea organizației de flux de aer în camera curată trebuie să atingă următoarele obiective: reduceți sau eliminați curentul eddy în câmpul de curgere pentru a evita reținerea particulelor dăunătoare; Mențineți un gradient de presiune pozitiv adecvat pentru a preveni contaminarea încrucișată.
Forța fluxului de aer
Conform principiului camerei curate, forțele care acționează asupra particulelor includ forța de masă, forța moleculară, atracția dintre particule, forța fluxului de aer etc.
Forța fluxului de aer: se referă la forța fluxului de aer cauzat de livrare, flux de aer de întoarcere, flux de aer de convecție termică, agitare artificială și alte fluxuri de aer cu un anumit debit pentru a transporta particulele. Pentru controlul tehnic al mediului curat al camerei, forța fluxului de aer este cel mai important factor.
Experimentele au arătat că în mișcarea fluxului de aer, particulele urmează mișcarea fluxului de aer cu aproape aceeași viteză. Starea particulelor din aer este determinată de distribuția fluxului de aer. Fluxurile de aer care afectează particulele interioare includ în principal: fluxul de aer de alimentare cu aer (incluzând fluxul de aer primar și fluxul de aer secundar), fluxul de aer și fluxul de aer de convecție termică cauzat de oamenii care merg și fluxul de aer cauzat de funcționarea procesului și echipamentele industriale. Diferite metode de alimentare cu aer, interfețe de viteză, operatori și echipamente industriale și fenomene induse în camerele curate sunt toți factori care afectează nivelul de curățenie.
Factori care afectează organizarea fluxului de aer
1. Influența metodei de aprovizionare cu aer
(1). Viteza de alimentare cu aer
Pentru a asigura fluxul de aer uniform, viteza de alimentare a aerului trebuie să fie uniformă într -o cameră curată unidirecțională; Zona moartă a suprafeței de alimentare cu aer trebuie să fie mică; Și scăderea de presiune în ULPA trebuie să fie, de asemenea, uniformă.
Viteza uniformă de alimentare a aerului: adică inegalitatea fluxului de aer este controlată în ± 20%.
Zona mai puțin moartă pe suprafața de alimentare cu aer: Nu numai că ar trebui să fie redusă aria planului cadrului ULPA, dar mai important, FFU modular ar trebui adoptată pentru a simplifica cadrul redundant.
Pentru a asigura fluxul de aer unidirecțional vertical, selecția căderii de presiune a filtrului este, de asemenea, foarte importantă, necesitând că pierderea de presiune din filtru nu se poate abate.
(2). Comparație între sistemul FFU și sistemul de ventilator de flux axial
FFU este o unitate de alimentare cu aer cu un ventilator și un filtru (ULPA). După ce aerul este aspirat de ventilatorul centrifugal al FFU, presiunea dinamică este transformată în presiune statică în conducta de aer și aruncată uniform de ULPA. Presiunea de alimentare cu aer pe tavan este o presiune negativă, astfel încât niciun praf nu se va scurge în camera curată atunci când filtrul este înlocuit. Experimentele au arătat că sistemul FFU este superior sistemului de ventilator axial al fluxului în ceea ce privește uniformitatea ieșirii de aer, paralelismul fluxului de aer și indicele de eficiență a ventilației. Acest lucru se datorează faptului că paralelismul fluxului de aer al sistemului FFU este mai bun. Utilizarea sistemului FFU poate face ca fluxul de aer în camera curată să fie mai bine organizat.
(3). Influența propriei structuri a FFU
FFU este compus în principal din fani, filtre, dispozitive de ghidare a fluxului de aer și alte componente. Filtrul de eficiență ultra-înaltă ULPA este cea mai importantă garanție dacă camera curată poate obține curățenia necesară a proiectării. Materialul filtrului va afecta, de asemenea, uniformitatea câmpului de curgere. Când se adaugă un material de filtru grosier sau o placă de flux laminar la ieșirea filtrului, câmpul de debit de ieșire poate fi ușor uniform.
2. Impactul diferitelor interfețe de viteză de curățenie
În aceeași cameră curată, între zona de lucru și zona care nu funcționează cu flux unidirecțional vertical, datorită diferenței de viteză a aerului la ieșirea ULPA, va fi generat un efect de vortex mixt la interfață, iar această interfață va deveni un turbulent Zona de curgere a aerului cu o intensitate deosebit de mare a turbulenței aerului. Particulele pot fi transmise pe suprafața echipamentului și contaminează echipamentele și napolitane.
3. Impactul personalului și al echipamentelor
Când camera curată este goală, caracteristicile fluxului de aer din cameră îndeplinesc, în general, cerințele de proiectare. Odată ce echipamentul intră în camera curată, mutarea personalului și produsele sunt transmise, în mod inevitabil vor exista obstacole pentru organizarea fluxului de aer. De exemplu, la colțurile sau marginile proeminente ale echipamentului, gazul va fi deviat pentru a forma o zonă turbulentă, iar lichidul din zonă nu este ușor transportat de gaz, provocând astfel poluarea. În același timp, suprafața echipamentului se va încălzi din cauza funcționării continue, iar gradientul de temperatură va provoca o zonă de reflow în apropierea mașinii, ceea ce va crește acumularea de particule în zona de reflow. În același timp, temperatura ridicată va determina cu ușurință particulele să scape. Efectul dual agravează dificultatea de a controla curățenia laminară verticală generală. Praful de la operatorii din camera curată este foarte ușor de aderat la napolitane din aceste zone de reflow.
4. Influența podelei aerului de întoarcere
Când rezistența aerului de întoarcere care trece prin podea este diferită, va fi generată o diferență de presiune, astfel încât aerul să curgă în direcția unei rezistențe mai mici și nu se va obține fluxul de aer uniform. Metoda actuală de proiectare populară este de a utiliza podele ridicate. Când rata de deschidere a podelelor crescute este de 10%, viteza fluxului de aer în înălțimea de lucru a camerei poate fi distribuită uniform. În plus, ar trebui să se acorde o atenție strictă lucrărilor de curățare pentru a reduce sursa de poluare a podelei.
5. Fenomenul de inducție
Așa-numitul fenomen de inducție se referă la fenomenul potrivit căruia se generează fluxul de aer în direcția opusă fluxului uniform, iar praful generat în cameră sau praf poate contamina cipul. Următoarele sunt posibilele fenomene de inducție:
(1). Placă oarbă
Într -o cameră curată cu flux unidirecțional vertical, din cauza articulațiilor de pe perete, există, în general, plăci orbe mari care vor genera turbulențe în fluxul de întoarcere local.
(2). Lămpi
Corpurile de iluminat din camera curată vor avea un impact mai mare. Deoarece căldura lămpilor fluorescente determină creșterea fluxului de aer, nu va exista o zonă turbulentă sub lămpile fluorescente. În general, lămpile din camera curată sunt proiectate într -o formă de lacrimă pentru a reduce impactul lămpilor asupra organizării fluxului de aer.
(3.) Goluri între pereți
Când există lacune între partiții cu diferite niveluri de curățenie sau între partiții și tavane, praful din zona cu cerințe scăzute de curățenie poate fi transferat în zona adiacentă cu cerințe ridicate de curățenie.
(4). Distanța dintre mașină și podea sau perete
Dacă decalajul dintre mașină și podea sau perete este foarte mic, acesta va provoca turbulențe de recul. Prin urmare, lăsați un decalaj între echipament și perete și ridicați mașina pentru a evita să lăsați mașina să atingă direct pământul.
Timpul post: 05-2025 februarie