Camerele curate sunt numite și camere fără praf. Acestea sunt utilizate pentru a elimina poluanții precum particulele de praf, aerul nociv și bacteriile din aerul dintr-un anumit spațiu și pentru a controla temperatura interioară, curățenia, presiunea interioară, viteza și distribuția fluxului de aer, zgomotul, vibrațiile, iluminatul și electricitatea statică într-un anumit interval. Următoarele descriu în principal cele patru condiții necesare pentru îndeplinirea cerințelor de curățenie în măsurile de purificare a camerelor curate.
1. Curățenia alimentării cu aer
Pentru a asigura că puritatea aerului de alimentare îndeplinește cerințele, esențială este performanța și instalarea filtrului final al sistemului de purificare. Filtrul final al sistemului de cameră curată utilizează, în general, un filtru HEPA sau un filtru sub-HEPA. Conform standardelor naționale, eficiența filtrelor HEPA este împărțită în patru grade: Clasa A este ≥99,9%, Clasa B este ≥99,99%, Clasa C este ≥99,999%, Clasa D este (pentru particule ≥0,1 μm) ≥99,999% (cunoscute și sub denumirea de filtre ultra-HEPA); filtrele sub-HEPA sunt (pentru particule ≥0,5 μm) 95~99,9%.
2. Organizarea fluxului de aer
Organizarea fluxului de aer într-o cameră curată este diferită de cea a unei camere climatizate generale. Aceasta necesită ca cel mai curat aer să fie livrat mai întâi în zona de operare. Funcția sa este de a limita și reduce contaminarea obiectelor procesate. Diferitele organizări ale fluxului de aer au propriile caracteristici și domenii de aplicare: Flux unidirecțional vertical: Ambele pot obține un flux de aer descendent uniform, facilitează amplasarea echipamentelor de proces, au o capacitate puternică de autopurificare și pot simplifica facilitățile comune, cum ar fi facilitățile personale ale camerei curate. Cele patru metode de alimentare cu aer au, de asemenea, propriile avantaje și dezavantaje: filtrele HEPA complet acoperite au avantajele rezistenței reduse și ale ciclului lung de înlocuire a filtrului, dar structura tavanului este complexă, iar costul este ridicat; avantajele și dezavantajele livrării superioare cu filtru HEPA acoperit lateral și livrării superioare cu placă cu orificiu complet sunt opuse celor ale livrării superioare cu filtru HEPA complet acoperit. Printre acestea, livrarea superioară cu placă cu orificiu complet este predispusă la acumularea de praf pe suprafața interioară a plăcii cu orificiu atunci când sistemul funcționează discontinuu, iar întreținerea deficitară va avea un anumit impact asupra curățeniei; Furnizarea superioară a unui difuzor dens necesită un strat de amestec, deci este potrivită doar pentru camere curate înalte, de peste 4 m, iar caracteristicile sale sunt similare cu cele ale furnizării superioare cu placă cu orificii complete; metoda de retur al aerului pentru plăcile cu grile pe ambele părți și orificiile de retur ale aerului dispuse uniform în partea de jos a pereților pe ambele părți este potrivită doar pentru camere curate cu o distanță netă mai mică de 6 m pe ambele părți; orificiile de retur al aerului din partea de jos a peretelui cu o singură parte sunt potrivite doar pentru camere curate cu o distanță mică între pereți (cum ar fi ≤2~3 m). Flux unidirecțional orizontal: doar prima zonă de lucru atinge nivelul de curățenie 100. Când aerul curge în cealaltă parte, concentrația de praf crește treptat. Prin urmare, este potrivită doar pentru camere curate cu cerințe de curățenie diferite pentru același proces. Distribuția locală a filtrelor HEPA pe peretele de alimentare cu aer poate reduce utilizarea filtrelor HEPA și economisi investiția inițială, dar există vârtejuri în zone locale. Flux de aer turbulent: Caracteristicile furnizării superioare a plăcilor cu orificii și ale furnizării superioare a difuzoarelor dense sunt aceleași cu cele menționate mai sus. Avantajele livrării laterale sunt amplasarea ușoară a conductelor, lipsa stratului intermediar tehnic, costul redus și facilitarea renovării fabricilor vechi. Dezavantajele sunt viteza mare a vântului în zona de lucru, iar concentrația de praf pe partea dinspre vânt este mai mare decât pe partea dinspre vânt. Livrarea superioară a orificiilor de evacuare a filtrului HEPA are avantajele unui sistem simplu, lipsa conductelor în spatele filtrului HEPA și fluxul de aer curat livrat direct în zona de lucru, dar fluxul de aer curat se difuzează lent, iar fluxul de aer în zona de lucru este mai uniform. Cu toate acestea, atunci când mai multe orificii de aer sunt aranjate uniform sau se utilizează orificii de evacuare a filtrului HEPA cu difuzoare, fluxul de aer în zona de lucru poate fi, de asemenea, mai uniform. Cu toate acestea, atunci când sistemul nu funcționează continuu, difuzorul este predispus la acumularea de praf.
3. Volumul de alimentare cu aer sau viteza aerului
Un volum suficient de ventilație este necesar pentru a dilua și elimina aerul poluat din interior. Conform diferitelor cerințe de curățenie, atunci când înălțimea netă a camerei curate este mare, frecvența de ventilație trebuie crescută în mod corespunzător. Printre acestea, volumul de ventilație al camerei curate de 1 milion este considerat conform sistemului de cameră curată de înaltă eficiență, iar restul este considerat conform sistemului de cameră curată de înaltă eficiență; atunci când filtrele HEPA ale camerei curate de clasa 100.000 sunt concentrate în sala mașinilor sau filtrele sub-HEPA sunt utilizate la capătul sistemului, frecvența de ventilație poate fi crescută în mod corespunzător cu 10% până la 20%.
4. Diferența de presiune statică
Menținerea unei anumite presiuni pozitive în camera curată este una dintre condițiile esențiale pentru a se asigura că aceasta nu este poluată sau este mai puțin poluată pentru a menține nivelul de curățenie proiectat. Chiar și pentru o cameră curată cu presiune negativă, aceasta trebuie să aibă o cameră sau o suită adiacentă cu un nivel de curățenie nu mai mic decât acest nivel pentru a menține o anumită presiune pozitivă, astfel încât curățenia camerei curate cu presiune negativă să poată fi menținută. Valoarea presiunii pozitive a camerei curate se referă la valoarea atunci când presiunea statică interioară este mai mare decât presiunea statică exterioară atunci când toate ușile și ferestrele sunt închise. Se realizează prin metoda prin care volumul de alimentare cu aer al sistemului de purificare este mai mare decât volumul de aer recirculat și volumul de aer evacuat. Pentru a asigura valoarea presiunii pozitive a camerei curate, este recomandat să se interblocheze ventilatoarele de alimentare cu aer, de retur și de evacuare. Când sistemul este pornit, ventilatorul de alimentare este pornit mai întâi, apoi ventilatorul de retur și ventilatorul de evacuare sunt pornite; când sistemul este oprit, ventilatorul de evacuare este oprit mai întâi, apoi ventilatorul de retur și ventilatorul de alimentare sunt oprite pentru a preveni contaminarea camerei curate atunci când sistemul este pornit și oprit. Volumul de aer necesar pentru menținerea presiunii pozitive în camera curată este determinat în principal de etanșeitatea structurii de întreținere. În stadiul incipient al construcției camerelor curate din China, din cauza etanșeității slabe a structurii de închidere, era nevoie de 2~6 ori/h de alimentare cu aer pentru a menține o presiune pozitivă de ≥5Pa; în prezent, etanșeitatea structurii de întreținere a fost mult îmbunătățită și este nevoie doar de 1~2 ori/h de alimentare cu aer pentru a menține aceeași presiune pozitivă; este nevoie doar de 2~3 ori/h de alimentare cu aer pentru a menține ≥10Pa. Specificațiile naționale de proiectare prevăd că diferența de presiune statică dintre camerele curate de diferite niveluri și dintre zonele curate și zonele necurate nu trebuie să fie mai mică de 0,5 mmH2O (~5 Pa), iar diferența de presiune statică dintre zona curată și exterior nu trebuie să fie mai mică de 1,0 mmH2O (~10 Pa).
Data publicării: 03 martie 2025