Randamentul cipului în industria de fabricare a cipurilor este strâns legat de dimensiunea și numărul de particule de aer depuse pe cip.O bună organizare a fluxului de aer poate îndepărta particulele generate din sursele de praf din camera curată și poate asigura curățenia camerei curate.Adică, organizarea fluxului de aer în camera curată joacă un rol vital în randamentul producției de așchii.Obiectivele care trebuie atinse în proiectarea organizării fluxului de aer în camera curată sunt: reducerea sau eliminarea curenților turbionari în câmpul de curgere pentru a evita reținerea particulelor dăunătoare;pentru a menține un gradient de presiune pozitivă adecvat pentru a preveni contaminarea încrucișată.
Conform principiului camerei curate, forțele care acționează asupra particulelor includ forța de masă, forța moleculară, atracția dintre particule, forța fluxului de aer etc.
Forța fluxului de aer: se referă la forța fluxului de aer cauzată de fluxul de aer de alimentare și retur, fluxul de aer prin convecție termică, agitația artificială și alte fluxuri de aer cu un anumit debit pentru a transporta particule.Pentru controlul tehnologiei de mediu în camera curată, forța fluxului de aer este cel mai important factor.
Experimentele au arătat că în mișcarea fluxului de aer, particulele urmăresc fluxul de aer aproape exact cu aceeași viteză.Starea particulelor din aer este determinată de distribuția fluxului de aer.Principalele efecte ale fluxului de aer asupra particulelor din interior includ: fluxul de aer de alimentare cu aer (inclusiv fluxul de aer primar și fluxul de aer secundar), fluxul de aer și fluxul de aer prin convecție termică cauzate de oamenii care merg pe jos și impactul fluxului de aer asupra particulelor cauzat de operațiunile de proces și echipamentele industriale.Diferite metode de alimentare cu aer, interfețe de viteză, operatori și echipamente industriale, fenomene induse etc. în camerele curate sunt toți factori care afectează nivelul de curățenie.
1. Influența metodei de alimentare cu aer
(1) Viteza de alimentare cu aer
Pentru a asigura un flux uniform de aer, viteza de alimentare cu aer în camera curată cu flux unidirecțional trebuie să fie uniformă;zona moartă de pe suprafața de alimentare cu aer trebuie să fie mică;iar căderea de presiune în filtrul hepa trebuie să fie, de asemenea, uniformă.
Viteza de alimentare cu aer este uniformă: adică denivelarea fluxului de aer este controlată în ±20%.
Există mai puțin spațiu mort pe suprafața de alimentare cu aer: nu numai că ar trebui redusă aria plană a cadrului hepa, dar, mai important, ar trebui să fie utilizate FFU modulare pentru a simplifica cadrul redundant.
Pentru a vă asigura că fluxul de aer este vertical și unidirecțional, selectarea căderii de presiune a filtrului este, de asemenea, foarte importantă și este necesar ca pierderea de presiune din filtru să nu poată fi influențată.
(2) Comparație între sistemul FFU și sistemul de ventilator cu flux axial
FFU este o unitate de alimentare cu aer cu ventilator și filtru hepa.Aerul este aspirat de ventilatorul centrifugal al FFU și transformă presiunea dinamică în presiune statică în conducta de aer.Este suflat uniform de filtrul hepa.Presiunea de alimentare cu aer pe tavan este presiune negativă.În acest fel, praful nu se va scurge în camera curată când înlocuiți filtrul.Experimentele au arătat că sistemul FFU este superior sistemului de ventilator cu flux axial în ceea ce privește uniformitatea ieșirii aerului, paralelismul fluxului de aer și indicele de eficiență a ventilației.Acest lucru se datorează faptului că paralelismul fluxului de aer al sistemului FFU este mai bun.Utilizarea sistemului FFU poate îmbunătăți organizarea fluxului de aer în camera curată.
(3) Influența structurii proprii a FFU
FFU este compus în principal din ventilatoare, filtre, ghidaje de flux de aer și alte componente.Filtrul hepa este cea mai importantă garanție pentru camera curată pentru a obține curățenia cerută de proiectare.Materialul filtrului va afecta, de asemenea, uniformitatea câmpului de curgere.Când un material filtrant grosier sau o placă de curgere este adăugată la orificiul de ieșire al filtrului, câmpul de curgere de ieșire poate fi uniformizat cu ușurință.
2. Impactul vitezei de interfață cu curățenie diferită
În aceeași cameră curată, între zona de lucru și zona nefuncțională cu flux vertical unidirecțional, din cauza diferenței de viteză a aerului la cutia hepa, la interfață se va produce un efect de vortex mixt, iar această interfață va deveni o turbulență. zona de flux de aer.Intensitatea turbulenței aerului este deosebit de puternică, iar particulele pot fi transmise la suprafața mașinii echipamentului și pot contamina echipamentul și napolitanele.
3. Impactul asupra personalului și echipamentului
Când camera curată este goală, caracteristicile fluxului de aer în cameră îndeplinesc, în general, cerințele de proiectare.Odată ce echipamentul intră în camera curată, oamenii se mișcă și produsele sunt transportate, există inevitabil obstacole în calea organizării fluxului de aer, cum ar fi punctele ascuțite care ies din mașina echipamentului.La colțuri sau margini, gazul se va devia pentru a forma o zonă de curgere turbulentă, iar fluidul din zonă nu va fi transportat ușor de gazul care intră, provocând astfel poluare.
În același timp, suprafața echipamentului mecanic va fi încălzită datorită funcționării continue, iar gradientul de temperatură va provoca o zonă de reflux în apropierea mașinii, ceea ce crește acumularea de particule în zona de reflux.În același timp, temperatura ridicată va provoca cu ușurință particulele să scape.Efectul dublu intensifică stratul vertical general.Dificultatea de a controla curățenia fluxului.Praful de la operatorii din camera curată poate adera cu ușurință la napolitanele din aceste zone de reflux.
4. Influența podelei aerului de retur
Când rezistența aerului de retur care trece prin podea este diferită, va apărea diferența de presiune, determinând aerul să curgă în direcția unei rezistențe mici și nu se va obține un flux uniform de aer.Metoda actuală de proiectare populară este utilizarea unei podele ridicate.Când raportul de deschidere al podelei ridicate este de 10%, viteza fluxului de aer poate fi distribuită uniform la înălțimea de lucru interioară.În plus, trebuie acordată o atenție strictă lucrărilor de curățare pentru a reduce sursa de poluare de pe podea.
5. Fenomenul de inducție
Așa-numitul fenomen de inducție se referă la fenomenul de generare a fluxului de aer în direcția opusă fluxului uniform, inducând praf generat în cameră sau praf în zonele contaminate adiacente spre partea vântului, determinând astfel praful să contamineze placheta.Posibilele fenomene induse includ următoarele:
(1) Placă oarbă
Într-o cameră curată cu flux vertical într-un singur sens, datorită îmbinărilor de pe perete, există în general panouri oarbe mari care vor produce flux turbulent și retur local.
(2) Lămpi
Corpurile de iluminat din camera curată vor avea un impact mai mare.Deoarece căldura lămpii fluorescente determină creșterea fluxului de aer, lampa fluorescentă nu va deveni o zonă turbulentă.În general, lămpile din camera curată sunt proiectate în formă de lacrimă pentru a reduce impactul lămpilor asupra organizării fluxului de aer.
(3) Goluri între pereți
Când există goluri între pereții despărțitori sau tavanele cu cerințe diferite de curățenie, praful din zonele cu cerințe scăzute de curățenie poate fi transferat în zonele adiacente cu cerințe ridicate de curățenie.
(4) Distanța dintre echipamentul mecanic și podea sau perete
Dacă distanța dintre echipamentul mecanic și podea sau perete este mică, vor apărea turbulențe de rebound.Prin urmare, lăsați un spațiu între echipament și perete și ridicați platforma mașinii pentru a evita contactul direct cu solul.
Ora postării: Nov-02-2023